《特徴》
●加熱室・冷却室のそれぞれにプレス機構を装備
●温度・圧力を自由にプログラミング可能
●全自動搬送により無人操業可能
●多品種少量生産に最適
●雰囲気ガス（ N２ or H２）

《装置概要》
１室のバッチ炉では、加熱→冷却→加熱→冷却のサイクルとなり、生産効率とエネルギー効率の悪さがネックでした。ダブル加圧式ホットプレスは、加熱室・冷却室を独立させることにより、各工程の処理条件変更の待ち時間を大幅に短縮します。また、先行ワーク処理中に次のワークの処理条件を準備することができるので、処理条件の異なるワークの連続条件変更を短時間で可能とし、多品種小ロットの生産に効果を発揮します。
各室に装備された油圧プレス機構は加熱・冷却の各工程での熱膨張を最小限に抑え、また各室の雰囲気はN２ or H２ガスをパージし、装置全体の高いシール性能と合わせてワークの酸化を防止します。

《特徴》
●ステンレス炉体と高純度断熱材を採用し、高いクリーン性能を実現。
●熱源はSiCヒーターを採用し温度分布性能の向上を図ります。
●対象製品の大きさに合わせて専用設計いたします。

《装置概要》
電子部品や半導体の製造工程で使用される石英ガラス製品のアニール炉には、より汚染の少ないクリーンな性能が求められます。弊社の石英ガラス高純度アニール炉は不純物を低減した高純度セラミックスファイバーを断熱材としてライニングし、更に炉体をオールステンレス製とすることで、アニール工程における石英ガラス製品の表面汚染を大幅に減少させることが可能です。
また処理製品の大口径化、長尺化に対応するべく炉体の大型化を進めており、お客様のご要望に応じて専用設計いたします。

《特徴》
●高い温度分布精度
●断熱材をステンレス薄板で覆い炉内コンタミを低減
●製品に合わせて適切な搬送方法を選択可能

《装置概要》
炉内ファンで熱風を均一に撹拌し、200℃～400℃程度の比較的低い温度域でも有効エリア内で±2℃以内の温度精度を実現します。
クリーン度が求められる製品向けにはウォーキングビーム搬送を採用し、駆動部、摺動部から発生するコンタミも極力低減します。